Process Solution
Wet-Fluoride All-PTFE 케미컬 카트리지 멤브레인필터 WFC는 All-PTFE 구조이며 카트리지필터형이며 고유량 PTFE 멤브레인을 사용합니다. 이러한 종류의 카트리지필터는 특히 SEMI-WEC 응용 프로그램에서 SC 1, SC 2, 49 HF, HNO 3, EKC 및 NMP을 포함한 화학 물질을 위해 설계되었습니다. 우수한 필터 설계는 필터 전체에서 낮은 압력 강하와 우수한 입자 제거 성능을 보장할 수 있습니다. 불소 중합체 재료는 공정에 유해할 수 있는 추출물 및 기타 오염 물질의 농도가 낮고 동시에 응용 분야에서 높은 보유 성능을 제공합니다
TFT-LCD/LED - APM/SPM Clean
편의를 위한 Pre-wet 옵션
100% 완전성 테스트 완료
우수한 흐름 성능 및 긴 수명
우수한 내약품성 및 내열성
모든 플루오르폴리머 구조 및 매우 낮은 추출물
저비용,고효율
| Media | PTFE |
| Core/Cage/Support | PFA |
| O-ring | TEV/FFKM |
| Disposable Shell | PFA |
| 제거입자등급 | 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm |
| 유효여과면적 | SX (φ68mm) - 1.2 m2/10” MX (φ81mm) - 1.8 m2/10” MY (φ81mm) - 2.2 m2/10” MZ (φ81mm) - 2.8 m2/10” |
| 최대 차압 | Forward - 0.5 MPa (72 psi) @ 25 oC (77 °F) Forward - 0.2 MPa (29 psi) @ 100 oC (212 °F) Reverse - 0.35 MPa (50 psi ) @ 25 oC (77 °F) |
| 최대 운용 온도 | Cartridge 100 oC ( 212 ° F ) Disposable 180 oC (356 °F) |
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