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생산공정솔루션

Process Solution

PES 케미컬 카트리지 멤브레인필터 CLEAN-GARD

PES 케미컬 카트리지 멤브레인필터 CLEAN-GARD는 PES 멤브레인 재질과 PP 재질의 필터Support,Core 및 Cage로 구성되어 있으며 O-ring은 EPDM과 TEV에서 선택할 수 있습니다. 반도체 및 전자분야에서 습식 에칭 및 세정 응용분야를 위한 효율적 비용의 대안으로 묽은 산,염기 및 기타 공정 화학 물질에 사용됩니다. PES 멤브레인은 높은 유속, 높은 입자제거,보유 용량 및 긴 필터 수명을 포함한 중요한 특성을 가지고 있으며 유체 흐름 중에 기포 형성을 줄일 수 있는 멤브레인 구조로 되어 있습니다

적용분야

묽은 산,염기 및 기타 공정 화학 물질여과

습식 식각 및 세정

특징

높은 등급의 Clean Room에서 생

100% 완전성 테스트 완료

장점

매우 높은 유속 및 긴 수명

낮은 추출물

장비 가동전 필터 전처리 시간 단축

재질
Media PES
Core/Cage/Support PP
O-ring EPDM/TEV
물리 화학적 특성
제거입자등급 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm,
유효여과면적 SX (φ68mm) - 0.8 m2/10”
MX (φ81mm) - 1.2 m2/10”
MY (φ81mm) - 1.8 m2/10”
최대 차압 Forward - 0.5 MPa (72 psi) @ 25 ℃ (77 °F)
Forward - 0.25 MPa (36 psi) @ 70 ℃ (158 °F)
Reverse - 0.3 MPa (43 psi ) @ 25 ℃ (77 °F)
최대 운용 온도 70 ℃ ( 158 ° F )-Prewet by UPW
유속 vs 차압
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도면 및 치수
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주문정보
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