Process Solution
PP 심층 카트리지필터(Depth Filter) CMPro-D는 폴리프로필렌(PP,Polypropylene) 매디아,Support,Core 및 End-Cap으로 구성되어 있으며 O-ring은 EPDM 또는 FKM에서 선택할 수 있습니다.모든 종류의 화학적 기계적 연마(CMP) 슬러리에서 유래하는 응집된 입자와 겔을 효과적으로 제거하는 동시에 유효한 연마재를 유지하고 필터의 입자 분포를 유지하도록 개발되었습니다. 고유한 3D복합 형태는 필터 내부로 들어 갈수록 점점 가늘어지는 기공 구조의 폴리프로필렌(PP,Polypropylene) 매체를 생산하는데 활용됩니다. 필터의 외부 섹션(Upstream)은 오염물 보유 용량을 최대화하고 수명을 연장하며 효과적으로 비용을 낮추는 연속 멜트 블로운(Melt blown) 매체로 구성되 었으며 필터의 내부 섹션( Downstream)은 탁월한 제거 효율과 신뢰할 수 있는 여과를 제공하는 나노섬유(Nano Fiber) 매체로 구성되어 있습니다
향상된 CMP 어플리케이션
CMP 슬러리에서 유래된 응집입자 및 겔 여과
낮은 침전물을 보장하기 위한 바인더 장
계면활성제를 사용하지 않은 순수 폴리프로필렌 구조
구배가 큰 심층필터(Depth Filter) 구조를 통한 높은 여과효율 및 긴수명
심층필터(Depth Filter)의 나노섬유로 된 내부 layer를 통한 연마제 입자의 높은 제거
긴 수명으로 인한 비용절감
필터의 서비스 수명을 극대화입자의 높은 제거율/보유율
입자의 높은 제거율/보유율
| Media | Polypropylene |
| Core/Cage/Support | Polypropylene |
| O-ring | EPDM/FKM |
| 제거입자등급 | 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm |
| 외경 | 69 mm |
| 길이 | 10inch, 20inch |
| 최대 차압 | Forward - 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ℃ (77 °F) Forward - 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ℃(179 °F) Reverse - 0.21 MPa (30 psi ) @ 25 ℃(77 °F) |
| 최대 운용 온도 | 80 ℃ (176 ° F ) |
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