Process Solution
COMPACT CMP 캡슐 멤브레인필터 POLICAP POU는 제한된 공간에서 고급 CMP 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. 필터구성은 모든 부분이 폴리프로필렌으로 제작되었으며 컴팩트한 디자인 및 일회용으로 오염요소를 사전에 제거할 수 있으며 쉽게 교체할 수 있는 합리적인 가격의 제품입니다. 성능 측면에서는 멜트블로운 또는 깊이 주름 필터 매체로 되어 있어서 유효한 연마재를 유지 하면서 필터의 입자 크기 분포(PSD)를 유지할 수 있으며 CMP 슬러리에서 결함을 유발하는 입자 및 겔을 효과적으로 차단할 수 있습니다. 필터 매체의 고유한 구조로 인해서 상대적으로 낮은 차압, 뛰어난 제거 효율 및 긴 서비스 수명을 보장합니다
고급 CMP 어플리케이션
CMP 슬러리에서 결함을 유발하는 입자 및 겔 여과
합리적인 가격의 All 폴리프로필렌 구조
핫멜트 용접 기술
선택의 폭이 넓은 다양한 길이와 지름의 캡슐필터
깊이 주름 필터 매체
일회용제품으로 교체가 용이하고 슬러리 노출에 최소화
매우 낮은 차압 유지
우수한 제거효율
| Media | Polypropylene |
| Core/Cage/Support | Polypropylene |
| O-ring | EPDM |
| 제거입자등급 | Depth Type : 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm Pleated Type : 1.5μm, 3.0μm, 5.0μm |
| 연결부 | Inlet/outlet : 3/8" Flaretek Vent/drain : 1/4" Flaretek,1/8" NPT |
| 외경 | Depth Type : 83 mm Pleated Type : 71 mm |
| 내경 | Depth Type : 69 mm Pleated Type : 56 mm |
| 길이 | 2.5 inch, 5 inch |
| 최대 차압 | Operating- 0.5 MPa (75 psi) @ 25 ℃ (77 °F) Forward - 0.5 MPa (75 psi) @ 25 ℃ (77 °F) Forward - 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ℃(179 °F) Reverse - 0.21 MPa (30 psi ) @ 25 ℃(77 °F) |
| 최대 운용 온도 | 80 ℃ (176 ° F ) |
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