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생산공정솔루션

Process Solution

COMPACT CMP 캡슐 멤브레인필터 POLICAP+ POU

COMPACT CMP 캡슐 멤브레인필터 POLICAP+ POU는 폴리프로필렌(PP,Polypropylene) 막(Membrane) 및 순수 폴리프로필렌(PP,Polypropylene) 재질인 Support,Core 및 End-Cap으로 구성되어 있으며 특히 콜로이드 실리카, 세리아 및 매우 미세한 알루미나 기반 슬러리에 최적화된 고급 CMP 응용 분야를 위해 특별히 설계되었으며 구조적으로 편리한 일회용 설계로 빠른 설치가 가능하고 슬러리에 대한 노출이 최소화되어 있으며 낮은 폐기물량의 특징을 가지고 있습니다.COMPACT CMP 캡슐 멤브레인필터 POLICAP+ POU는 다양한 종류의 멜트블로운 또는 멤브레인을 감은 필터 매체로 되어 있으며 유연한 커넥터 옵션과 함께 사용할 수 있습니다

적용분야

향상된 CMP 어플리케이션

콜로이드 실리카, 세리아 및 매우 미세한 알루미나 기반 슬러리에서 유래된 응집입자 및 겔 여과

특징

교체가 용이한 일회용 디자인

유연한 커넥터 옵션

장점

낮은 차압 및 탁월한 제거효율

높은 오염물 보유 용량 및 긴 수명

큰슬러리에 대한 노출을 최소화

슬러리 감소 및 침전방지를 위한 낮은 홀드업 볼륨

재질
Media Polypropylene
Core/Cage/Support Polypropylene
O-ring EPDM
물리 화학적 특성
제거입자등급 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm
연결부 Inlet/outlet : 3/8" Flaretek Easy-touch
Vent/drain : 1/4" NA
외경 93 mm
내경 69 mm
길이 5 inch
최대 차압 Operating- 0.34 MPa (50 psi) @ 25 ℃ (77 °F)
Forward - 0.24 MPa (35 psi) @ 21 ℃ (70 °F)
Forward - 0.40 MPa (58 psi) @ 82 ℃(179 °F)
Reverse - 0.21 MPa (30 psi ) @ 25 ℃(77 °F)
최대 운용 온도 80 ℃ (176 ° F )
유속 vs 차압
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도면 및 치수
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주문정보
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