Process Solution
스테인리스 스틸 Max 시리즈는 초고순도 가스용으로 설계되었으며, 진공 아크 용해 방식(VAR)으로 제작된 고순도 316L 스테인레스 스틸을 사용하며 제작하며 이중층 PTFE 멤브레인과 0.003μm의 여과 정확도 및 0 - 1000slpm의 유속을 가지고 있습니다. 퍼플루오르화 필터 엘리먼트(perfluorinated filter elements)가 내부에 장착되어 있어 뛰어난 화학적 호환성을 갖추고 있으며 다양한 반도체 공정에서 가스를 여과하는 데 사용할 수 있습니다.
초고순도 가스 여과
316L 전해 연마 쉘
퍼플루오르화 내부 코어
높은 청정도
낮은 침전
100% 무결성 및 헬륨 누출 감지
높은 유속 및 큰 사이즈
| 멤브레인 | 소수성 PTFE |
| Core | PFA |
| O-ring | FFKM |
| 하우징 | 전해연마(Electrolytic Polishing) 및 진공 아크 용해 방식(VAR)으로 제작하여 금속내 기포 및 가스가 제거된 316L 재질 사용 |
| 어뎁터 | 1/4, 1/2 VCR,1/4 SWG, 3/8 SWG, 1/2 SWG |
| 내부표면처리 | Roughness - < 0.13um, Surface Chemistry - Cr Fe > 1 |
| 제거입자등급 | >= 0.003um |
| 입자제거효율 | >99.9999999(9 LRV) @ MPPS(Most penetrating particle size) |
| 권장유속 | 0-1000slpm |
| 헬륨 leak 테스트 | Design Verification - 2 x 10-11 atm.cm3/sec, Process Verification - 1 x 10-9 atm.cm3/sec |
| 최대 운용 압력 | 7 MPa @121C |
| 최대 Forward 운용 차압 | 0.6 MPa @ 23C |
| 최대 Reverse 운용 차압 | 0.3 MPa @ 23C |
| 최대 운용 온도 | 120C |
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