PP 심층 카트리필터(Depth Filter) CMPro-M는 폴리프로필렌(PP,Polypropylene) 매디아,Support,Core 및 End-Cap으로 구성되어 있으며 O-ring은 EPDM 또는 FKM에서 선택할 수 있습니다.SDS(슬러리 전달 시스템)용 벌크 슬러리 여과를 위해 특별히 설계되었으며 고유의 등급화된 밀도 설계 복합 구조 폴리프로필렌 매체는 CMP 여과 문제를 해결해 줍니다.PP 심층 카트리필터(Depth Filter) CMPro-M는 응집체의 우수한 제거/보유 효율과 높은 오염원 제거 용량 사이에서 균형을 잘 이루고 있습니다.CMP 슬러리와 입자에서 유래한 파괴적인 입자만을 효과적으로 제거할 수 있으며 필터의 유효한 슬러리 입자의 크기 분포(PSD)는 여과후에도 변경되지 않습니다.PP 심층 카트리필터(Depth Filter) CMPro-M는 Oxide CMP, STI CMP 및 Metal CMP를 포함한 다양한 상황에서 다양한 CMP 응용 프로그램을 만족시킬 수 있습니다
SDS(슬러리 전달 시스템)용 벌크 슬러리 여과
Oxide CMP,STI CMP 및 Metal CMP 슬러리 여과
낮은 침전물을 보장하기 위한 바인더 장
계면활성제 및 바인더가 없기 때문에 낮은 추출물
긴 수명으로 인한 비용절감
타겟 입자에 대한 높은 제거율/보유율
높은 여과효율
| Media | Polypropylene |
| Core/Cage/Support | Polypropylene |
| O-ring | EPDM/FKM |
| 제거입자등급 | 3.0μm, 5.0μm, 7.0μm, 9.0μm, 11.0μm |
| 외경 | 64 mm |
| 길이 | 10inch, 20inch |
| 최대 차압 | Forward - 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ℃ (77 °F) Forward - 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ℃(179 °F) Reverse - 0.21 MPa (30 psi ) @ 25 ℃(77 °F) |
| 최대 운용 온도 | 80 ℃ (176 ° F ) |
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