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친수성 UPE 카트리지 멤브레인필터 PHOTO-UNIX

친수성 UPE 카트리지 멤브레인필터 PHOTO-UNIX는 소수성 UPE 막(Membrane) 및 HDPE(High Density Polyester) 재질인 Support,Core 및 End-Cap으로 구성되어 있으며 O-ring은 EPDM 또는 TEV에서 선택할 수 있습니다.Photo-Unix 시리즈 UPE 필터는 2nm ~ 0.2 μm의 광범위한 입자 제거/보유 등급을 갖고 있으며 SEMI-Photo 프로세스의 중요한 요구 사항을 충족하도록 뛰어난 입자 제거/보유 능력, 높은 청결성 및 높은 화학적 호환성이 보장된 제품입니다.UPE 멤브레인 소재의 특징은 높은 청결성,낮은 입자 발산 및 오염 물질 제거로 생산되어 입자 제거/보유 효율을 향상시켰으며 필터의 넓은 멤브레인 표면적은 높은 유속과 긴 서비스 수명을 제공합니다

적용분야

향상된 CMP 어플리케이션

고체 함량이 낮은 산화물,텅스텐 및 구리 슬러리에서 유래된 응집입자 및 겔 여과

  1. 특징

깊고 넓은 주름 필터

핫멜트 용접 기술

필터의 내부로 들어갈 수록 가늘어지는 기공 구조

높은 등급의 Clean Room에서 제조되어 필터의 높은 청결도 유지

장점

긴 수명으로 인한 비용절감

매우 낮은 차압 유지

큰 입자를 완전하게 제거를 하는 Absolute filter

낮은 오염원 및 추출물

재질
Media 소수성UPE
Core/Cage/Support HDPE
O-ring EPDM/TEV
물리 화학적 특성
제거입자등급 2nm, 5nm, 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm
유효여과면적 SX (φ68mm) - 1.2 m2/10”
MX (φ81mm) - 1.8 m2/10”
최대 차압 Forward - 0.34 MPa (49 psi) @ 25 ℃ (77 °F)
Reverse - 0.24 MPa (34 psi ) @ 25 ℃ (77 °F)
최대 운용 온도 40 ℃ ( 104 ° F )-Prewet by UPW
유속 vs 차압
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도면 및 치수
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주문정보
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