Process Solution
All Fluorine 카트리지필터 0.2um GP
0.2um GP 시리즈 PFA 필터 카트리지는 소수성 PTFE 멤브레인과 All PFA support part로 구성되어 있습니다.99.999999% 입자제거율을 가지며 2.5"-40"까지 다양한 길이의 필터를 제공하며 어뎁터는 Flat,222/Flat, 222/Fin,226/Fin,226/Flat이 있습니다.가스켓의 종류에는 FEP Encapsulated FPM/FKM와 FEP Encapsulated FPM/FKM가 있습니다.초순수 PFA 수지와 강력한 화학적 호환성, 고청정성 PTFE 필름을 사용하여 고온 융합 기술 용접으로 밀봉되었습니다. 고온 및 산화에 강하며 특수 가스 여과를 위해 특별히 설계되었습니다.
All Fluorine 카트리지필터 1.0um GP
0.001um GP 시리즈 PFA 필터 카트리지는 소수성 PTFE 멤브레인과 All PFA support part로 구성되어 있습니다.99.999999% 입자제거율을 가지며 2.5"-40"까지 다양한 길이의 필터를 제공하며 어뎁터는 Flat,222/Flat, 222/Fin,226/Fin,226/Flat이 있습니다.가스켓의 종류에는 FEP Encapsulated FPM/FKM와 FEP Encapsulated FPM/FKM가 있습니다.초순수 PFA 수지와 강력한 화학적 호환성, 고청정성 PTFE 필름을 사용하여 고온 융합 기술 용접으로 밀봉되었습니다. 고온 및 산화에 강하며 특수 가스 여과를 위해 특별히 설계되었습니다.
스테인레스 스틸 Mini Gas 필터
스테인리스 스틸 미니 시리즈는 초고순도 가스용으로 설계되었으며, 진공 아크 용해 방식(VAR)으로 제작된 고순도 316L 스테인레스 스틸을 사용하며 제작하며 이중층 PTFE 멤브레인과 0.003μm의 여과 정확도를 제공합니다. 퍼플루오르화 필터 엘리먼트(perfluorinated filter elements)가 내부에 장착되어 있어 뛰어난 화학적 호환성을 갖추고 있으며 다양한 반도체 공정에서 가스를 여과하는 데 사용할 수 있습니다.
스테인레스 스틸 Mid Gas 필터
스테인리스 스틸 Mid 시리즈는 초고순도 가스용으로 설계되었으며, 진공 아크 용해 방식(VAR)으로 제작된 고순도 316L 스테인레스 스틸을 사용하며 제작하며 이중층 PTFE 멤브레인과 0.003μm의 여과 정확도를 제공합니다. 퍼플루오르화 필터 엘리먼트(perfluorinated filter elements)가 내부에 장착되어 있어 뛰어난 화학적 호환성을 갖추고 있으며 다양한 반도체 공정에서 가스를 여과하는 데 사용할 수 있습니다.
스테인레스 스틸 Max Gas 필터
스테인리스 스틸 Max 시리즈는 초고순도 가스용으로 설계되었으며, 진공 아크 용해 방식(VAR)으로 제작된 고순도 316L 스테인레스 스틸을 사용하며 제작하며 이중층 PTFE 멤브레인과 0.003μm의 여과 정확도 및 0 - 1000slpm의 유속을 가지고 있습니다. 퍼플루오르화 필터 엘리먼트(perfluorinated filter elements)가 내부에 장착되어 있어 뛰어난 화학적 호환성을 갖추고 있으며 다양한 반도체 공정에서 가스를 여과하는 데 사용할 수 있습니다.
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