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  • PP 심층 카트리지필터(Depth Filter) CMPro-D

    Membrane Solutions 반도체용 

    PP 심층 카트리지필터(Depth Filter) CMPro-D는 폴리프로필렌(PP,Polypropylene) 매디아,Support,Core 및 End-Cap으로 구성되어 있으며 O-ring은 EPDM 또는 FKM에서 선택할 수 있습니다.모든 종류의 화학적 기계적 연마(CMP) 슬러리에서 유래하는 응집된 입자와 겔을 효과적으로 제거하는 동시에 유효한 연마재를 유지하고 필터의 입자 분포를 유지하도록 개발되었습니다. 고유한 3D복합 형태는 필터 내부로 들어 갈수록 점점 가늘어지는 기공 구조의 폴리프로필렌(PP,Polypropylene) 매체를 생산하는데 활용됩니다. 필터의 외부 섹션(Upstream)은 오염물 보유 용량을 최대화하고 수명을 연장하며 효과적으로 비용을 낮추는 연속 멜트 블로운(Melt blown) 매체로 구성되 었으며 필터의 내부 섹션( Downstream)은 탁월한 제거 효율과 신뢰할 수 있는 여과를 제공하는 나노섬유(Nano Fiber) 매체로 구성되어 있습니다

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  • Photo-Novel 시리즈 나일론 필터는 나일론(Nylon 66) 멤브레인과 HDPE(High Density Polyester) 및 폴리프로필렌(Polypropylene) 재질로 된 Support,Core 및 Cage로 구성되어 있으며 O-ring 재질은 EPDM 및 TEV에서 선택할 수 있습니다.높은 유속 성능, 우수한 입자 보유/유지율 및 우수한 유기 청정도를 제공합니다. 특히 SEMI-Photo 공정에서 포토레지스트,솔벤트 및 기타 화학물질용으로 설계되 었습니다. Photo-Novel 시리즈 필터에 사용 되는 나일론 멤브레인은 천연 친수성 나일론 소재이며 낮은 금속,입자 청정도 및 매우 낮은 수준의 유기 추출물의 특징을 갖고 있습니다

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  • PES 케미컬 카트리지 멤브레인필터 CLEAN-GARD는 PES 멤브레인 재질과 PP 재질의 필터Support,Core 및 Cage로 구성되어 있으며 O-ring은 EPDM과 TEV에서 선택할 수 있습니다. 반도체 및 전자분야에서 습식 에칭 및 세정 응용분야를 위한 효율적 비용의 대안으로 묽은 산,염기 및 기타 공정 화학 물질에 사용됩니다. PES 멤브레인은 높은 유속, 높은 입자제거,보유 용량 및 긴 필터 수명을 포함한 중요한 특성을 가지고 있으며 유체 흐름 중에 기포 형성을 줄일 수 있는 멤브레인 구조로 되어 있습니다

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  • PES 케미컬 카트리지 멤브레인필터 CLEAN-NOVA는 PES 멤브레인과 HDPE 재질로 된 Support,Core 및 Cage로 구성 되어 있습니다.반도체 및 전자 산업에 사용되는 약산, 염기 및 초순수 탈이온수 여과용으로 설계된 고유량의 긴 수명의 제품입니다.15°C - 24°C 에서 사용할 때 PES 필터는 광범위한 습식 에칭 및 세척 솔루션에 강한 화학적 내성을 가집니다

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  • PTFE 케미컬 카트리지 멤브레인필터 WET-MEGA는 PTFE 멤브레인 재질과 PP재질로 된 Support,Core 및 Cage로 구성되어 있습니다. 천연 소수성인 PTFE 멤브레인은 우수한 화학적 호환성을 제공하고 있습니다.반도체 및 전자 산업의 화학 물질 및 유기 용제 요구 사항을 충족하기 위해 낮은 금속 철 추출물이 나오는 제품으로 설계되었습니다

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